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快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源，通過(guò)極快的升溫速率，將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃，從而消除晶圓或者材料內(nèi)部的一些缺陷，改善產(chǎn)品性能。快速退火爐采用先進(jìn)的微電腦控制系統(tǒng)，采用PID閉環(huán)控制溫度，可以達(dá)到*的控溫精度和溫度均勻性，并且可配置真空腔體，也可根據(jù)用戶工藝需求配置多路氣體?？焖偻嘶馉t主要由真空腔室、加熱室、進(jìn)氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、氣冷系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)等幾部分組成。真空腔室：真空腔室是快速退火爐的工作空間，晶圓在這里進(jìn)行快速熱處理。加熱室：加...

1.電爐不需特殊安裝,只需平放在室內(nèi)地面或臺(tái)架上。應(yīng)放在工作臺(tái)上,工作臺(tái)面的傾斜度不得超過(guò)5度.控制器離電爐最小距離不得少于0.5米.控制器不宜放在電爐上面,以免影響控制器正常工作.2.與控制器及電爐相連的電源線,開關(guān)及熔斷器的負(fù)載能力應(yīng)稍大于電爐的額定功率.3.接線時(shí),首先轉(zhuǎn)松控制器外殼左右兩側(cè)的螺釘,然后將罩殼上翻,按圖示接好電源線.控制器與電爐的連線及熱電偶連接線(最好使用補(bǔ)償導(dǎo)線).將熱電偶從熱電偶固定座的小孔中插入爐膛,孔與熱電之間間隙用石棉繩堵塞,然后固定.(注意...

晶體生長(zhǎng)是用一定的方法和技術(shù)，使單晶體由液態(tài)或氣態(tài)結(jié)晶成長(zhǎng)。由液態(tài)結(jié)晶又可以分成熔體生長(zhǎng)或溶液生長(zhǎng)兩大類。熔體生長(zhǎng)法又分為有直拉法、坩堝下降法、區(qū)熔法、焰熔法（又稱維爾納葉法）等直拉法此法是由熔體生長(zhǎng)單晶的一項(xiàng)最主要的方法，適用于大尺寸晶體的批量生產(chǎn)。被加熱的坩堝中盛著熔融的料，籽晶桿帶著籽晶由上而下插入熔體，由于固液界面附近的熔體維持一定的過(guò)冷度、熔體沿籽晶結(jié)晶，并隨籽晶的逐漸上升而生長(zhǎng)成棒狀單晶。坩堝可以由高頻感應(yīng)或電阻加熱。半導(dǎo)體鍺、硅、氧化物單晶如釔鋁石榴石、釓鎵石榴...

電弧煉鋼爐以電能為主要能源。電能通過(guò)石墨電極與爐料放電拉弧，產(chǎn)生高達(dá)2000~6000℃以上的高溫，以電弧輻射、溫度對(duì)流和熱傳導(dǎo)的方式將廢鋼原料熔化。在爐料熔化時(shí)的大部分時(shí)間里，高溫?zé)嵩幢粻t料所包圍，高溫廢氣造成的熱損失相對(duì)較少，因此熱效率高于轉(zhuǎn)爐等其他煉鋼設(shè)備。此外，電加熱容易精確地控制爐溫，可以根據(jù)工藝要求在氧化氣氛或還原氣氛、常壓或真空等任何條件下進(jìn)行加熱操作。電弧爐煉鋼工藝流程短，設(shè)備簡(jiǎn)單，操作方便，比較易于控制污染，建設(shè)投資少，占地面積小，不需要像轉(zhuǎn)爐煉鋼那樣必須依...

1．中頻電源、真空爐爐體、感應(yīng)圈之冷卻水源——蓄水池之水必須充滿，水中不得有雜質(zhì)。2．開動(dòng)水泵，使其中頻電源，真空爐感應(yīng)圈、爐體冷卻系統(tǒng)水循環(huán)正常，并調(diào)整水壓控制在規(guī)定值。3．檢查真空泵電源系統(tǒng)，皮帶盤皮帶松緊，真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查妥后，人工轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵皮帶盤，如無(wú)異常，可在關(guān)閉蝶閥的情況下，啟動(dòng)真空泵。4．檢查真空爐體內(nèi)情況，要求真空爐體內(nèi)一級(jí)衛(wèi)生，感應(yīng)圈絕緣良好，密封真空膠帶具有彈性，尺寸合格。5．檢查真空爐體的杠桿手把啟動(dòng)是否靈活。6．檢查轉(zhuǎn)動(dòng)式麥?zhǔn)险婵沼?jì)...